Bakker芯片原型实现 — CMOS智能温度传感器三种原型

Bakker & Huijsing 专著《High-Accuracy CMOS Smart Temperature Sensors》Ch.5 描述了三款 CMOS 智能温度传感器原型芯片,分别面向轮胎监测(超低功耗 3μA)、通用环境温度传感(首款 ±1°C 免校准)和远程微处理器热管理(单晶体管远程测温)。本文基于 Ch.5 全章提炼,覆盖每款原型的应用背景、系统架构、关键电路设计、创新技术和实测数据。


前后关系

前置知识:

本书内部链条: Ch.2 失调消除 → Ch.3 带隙基准 → Ch.4 传感器设计 → Ch.5 原型芯片实现(本文)


1. 三款原型总览

参数原型 1:轮胎监测传感器原型 2:高精度温度传感器原型 3:远程微处理器温度传感器
应用汽车轮胎压力监测系统 (TPMS)通用环境温度传感(LM75 兼容)笔记本电脑 CPU 热管理
工艺2μm / 0.7μm CMOS0.7μm CMOS0.7μm CMOS
芯片面积12mm²(含压力接口)→5mm²4.5mm²(含远程接口)→2mm²(独立)4.5mm²(与原型 2 共享)
传感器核心面积1.5mm²0.7mm²+0.3mm²(远程接口)
温度范围-40°C 到 +130°C-55°C 到 +125°C-20°C 到 +125°C
免校准精度±5~7°C(需两点校准 → ±1°C)±1°C(首款免校准 CMOS 传感器)±2°C(70~100°C)
功耗3μA @ 2 samples/s(极致低功耗)50μA(I²C 非活跃)~500μA(活跃)100μA(I²C 非活跃)~500μA(活跃)
接口自定义数字接口I²C 总线SM-bus / I²C
本章章节§5.1§5.2§5.3

三款传感器共享相同的核心技术基础:substrate pnp 温度传感 + PTAT 电流生成 + 一阶连续时间 ΣΔ 调制器 + 斩波/嵌套斩波失调消除。但针对不同的应用场景,在功耗、精度、接口和测温方式上做了差异化设计。


2. 原型 1:轮胎监测温度传感器(§5.1)

2.1 应用背景与动机

轮胎监测系统(Tyre Monitoring System)的需求源于:

  • 超过一半的公路车辆轮胎气压不足
  • 0.2 bar 欠压 → 油耗显著增加 + 轮胎寿命缩短
  • 温度信息用于补偿压力传感器的热交叉灵敏度
  • 轮胎温度可间接检测爆胎/漏气(压力正常但温度异常升高)

系统架构(Fig. 5-1):每个轮胎内安装一个模块,包含压力传感器 + ASIC(含智能温度传感器)+ 微控制器 + 射频发射器 + 电池(3V 锂电池,2Ah)。数据通过 434MHz/869MHz/2.456GHz 射频信号传输到驾驶舱接收器。

核心挑战:

  • 极端低功耗:电池容量 2Ah @3V,需支撑 6 年轮胎寿命
  • 总系统平均电流 < 40μA(微控制器和发射器占大部分)
  • 留给温度传感器:仅 3μA 平均电流

2.2 目标规格(Table 5-1)

参数最小值典型值最大值单位
电源电压2.43.03.6V
平均电源电流3μA(@3V, 2 samples/s)
温度范围-40130°C
不准确度±1°C
带宽2samples/s
分辨率8bits

2.3 设计考虑

A/D 转换方案选择:

  • 汽车环境存在大量点火噪声干扰 → 需要积分型 ADC 实现噪声抑制
  • 一阶连续时间 ΣΔ 调制器是最优选择:低功耗 + 天然抗混叠 + 内置噪声整形
  • 高阶 ΣΔ 调制器功耗更高、采样时间更短 → 干扰抑制更差
  • 采样型 ΣΔ 调制器干扰抑制能力也更差

工艺选择:

  • 压力传感器接口需要高性能开关(电容式读数)→ 需要 CMOS
  • 双极/BiCMOS 工艺可提供高性能 BJT,但价格过高
  • 最终选择 标准 CMOS 工艺

2.4 模块级设计

2.4.1 系统框图(Fig. 5-2)

温度传感器和参考模块生成的信号:

  • :温度相关电流
  • :参考电流
  • :偏置电流

操作时序:

  1. 每个采样周期开始:ΣΔ 调制器、计数器和定时器复位
  2. count-en 变为高电平 → 计数器统计比特流中 1 的数量
  3. 定时器计时结束 → count-en 变为低电平,dav 变为高电平(数据有效)
  4. Power-down 功能:采样完成后完全断电,模拟模块无偏置电流
  5. 采样时间需尽可能长以抑制干扰,但不能超过平均 3μA 的功耗预算

2.4.2 低功耗高精度 PTAT 电流生成器(§5.1.4, Fig. 5-3)

核心电路参数:

  • 发射极面积比:
  • PTAT 电流公式:
  • 标称 kΩ → nA @300K
  • 灵敏度:约 1.7nA/°C(泄漏电流在 100°C 以上可达 nA 级,可能引起老化问题)

电流精度提升技术:

  • 第一放大器级(M11–M14)加入斩波(chopping)
  • 输入级和镜像管的失调都被调制到斩波频率
  • 斩波频率 = 时钟频率
  • 部分滤波由 Miller 电容 完成,主要滤波由 ΣΔ ADC 实现(ADC 充当数字低通滤波器,在时钟频率及其谐波处有陷波)

两级放大器设计:

  • 单级方案需要 μA/V → 至少 20μA 电流
  • 两级方案:长输入管 M11/M12 + 所有镜像管加共源共栅 → DC 增益约 200
  • 总电流仅 3μA,据作者称是当时最低功耗的同类设计

上电/掉电电路:

  • power-on 为高 → M32(窄长管)导通 → 极小电流启动电路
  • power-on 为低 → M31 导通,将 M22–M26 栅极拉到 Vdd → 完全断电
  • 启动后数时钟周期内 M32 电流被关闭以提高精度

2.4.3 温度电流和参考电流生成(Fig. 5-4)

  • 通过 A2/M20/Rbe 转换为电流(室温约 1μA)
  • 被 4 分频后分两路:
    • 左路 + 0.5 倍 → (与温度无关的参考电流)
    • 右路从 0.75 倍 中减去 → (温度信号电流)
  • Kelvin-to-Celsius 转换:,充分利用 ΣΔ 调制器动态范围
  • 总功耗:约 7μA

2.4.4 ΣΔ 调制器(Fig. 5-5, Eq. 5-2)

比特流输出:

  • 温度范围两端设计:
    • 低温端(-40°C):bitstream ratio = 0.1
    • 高温端(+130°C):bitstream ratio = 0.9
    • 两端各留约 10% 裕量用于校准

积分电容 pF:芯片面积与精度之间的权衡

  • 更大的电容 → 更小的开关电荷注入问题
  • 允许更低的时钟频率 → 斩波频率也可以更低 → 残余误差更小()

时钟频率选择:16kHz(可从低成本 32kHz 手表晶振分频获得)

  • 8 位分辨率 → 最大采样速度 = 16kHz/256 ≈ 60 samples/s
  • 但只需 2 samples/s → 可通过占空比实现极低平均功耗

参考电压 V:确保 和 电流源的共源共栅管工作在饱和区

2.4.5 功耗分配

模块连续工作电流
PTAT 电流生成 + 参考7μA
ΣΔ 调制器10μA
数字部分~3μA
总计(连续工作)~20μA
@2 samples/s(等效)<3μA(实际受泄漏限制 ~3μA)

2.4.6 版图(§5.1.4, Fig. 5-6)

  • 2μm 标准 CMOS 工艺实现
  • 总芯片 12mm²(25% 数字单元)
  • 温度传感器模拟部分(白色矩形):1.5mm²
    • 电阻 (640kΩ)和 (100kΩ)占 ~20%
    • 积分电容 pF 占 ~10%
  • 后缩减至 0.7μm CMOS,面积降至 5mm²,测量结果无显著差异

2.5 实测结果(§5.1.5, Table 5-2, Fig. 5-7/5-8)

测量条件:

  • 陶瓷 IC 封装,温度范围 -40°C 到 +120°C
  • 电源范围 2.2V–5.0V 内全功能

实测规格(Table 5-2):

参数最小值典型值最大值单位
电源电压2.23.05.0V
电源电流(标称 @3V, 2sps)3μA
采样期间电流25μA
温度范围-40120°C
不准确度(两点校准后)±1°C
带宽50samples/s
分辨率8bits
时钟频率2540kHz
电源调节抑制0.1°C/V
噪声0.1°C

精度数据:

  • 3 个样本未校准误差:室温 ±5°C,全温 ±7°C(Fig. 5-7)
  • @-20°C 和 +100°C 两点校准后 → 全温 ±1°C(Fig. 5-8)
  • 连续工作:25μA,待机:2μA

3. 原型 2:高精度免校准温度传感器(§5.2)

3.1 动机 — 低成本化

轮胎传感器市场很小,最大的市场在热管理应用(PC、家电),核心需求是低成本,而非超低功耗。

制造成本分析(Table 5-3,假设年销量 >100 万,单价 $1):

成本项目每片成本
设计10¢
加工(工艺+芯片面积)30¢
测试15¢
划片/键合/封装25¢
校准20¢
总计$1.00

免校准可节省约 25% 成本(校准 20¢ + 校准相关的额外工艺步骤和芯片面积)。

3.2 目标规格(Table 5-4)

完全兼容行业标准 LM75(National Semiconductor):

参数最小值典型值最大值单位
电源电压3.03.35.5V
电源电流(I²C 非活跃)250μA
电源电流(I²C 活跃)1000μA
关断模式1μA
温度范围-55125°C
不准确度(-25°C 到 +100°C)±2.0°C
不准确度(-55°C 到 +125°C)±3.0°C
转换时间100ms
分辨率9bits(0.5°C)

核心问题:能否在无需修调的条件下达到 LM75 的精度规格?

3.3 误差分析与可行性(§5.2.2, Table 5-5, Eq. 5-3/5-4)

基于轮胎传感器电路结构(Fig. 5-9),温度数据输出为:

主要误差源分析(@300K):

误差类型符号典型值温度误差贡献
Q1/Q2 失调0.1mV0.25°C
M12–M11 失配1.0%1.3°C
M12–M14 失配1.0%0.3°C
M12–M15 失配1.0%1.8°C
M32–M31 失配1.0%1.8°C
M21–M22 失配1.0%0.3°C
M21–M23 失配1.0%1.2°C
A2 失调1.0mV0.25°C
绝对散布4.0%0.25°C
/ 失配0.1%0.15°C
绝对散布2.0mV0.5°C
总 RMS(误差不相关)3.2°C

其中电流镜失配是最大误差源。假设室温 , 中 1% 的误差 导致(Eq. 5-4):

温度范围约 240°C(60K/0.25),1% 误差 → 。

可行性结论:

  • 若对电流镜应用动态失调消除技术,残差可降至约 0.7°C
  • 3-σ 生产带宽下:约 2.1°C,接近 LM75 的 ±2°C 规格
  • 关键差异:无需任何单次校准即可达到此精度

3.4 设计创新(§5.2.3)

3.4.1 改进型 ΣΔ 调制器(Fig. 5-10/5-11, Eq. 5-5)

核心洞察:最大误差源来自 信号路径的电流镜(M12–M15, M32–M31)

  • 若能消除 信号路径中的镜像管,精度可大幅提升

改进方案:

  1. 使 ΣΔ 调制器仅需 sourcing 和 sinking (而非双向 )
  2. 制作无镜像管的 sinking PTAT 电流源

实现方法(Fig. 5-10):利用反向比特流信号控制开关 SI,将 sourcing 从调制器中消除。

改进后比特流输出:

相比轮胎传感器的 , 权重从 1.5 提升到 2,动态范围利用率更高。温度范围从 240°C 降至 200°C,但仍满足 LM75 的 180°C 范围要求(-55°C 到 125°C)。

3.4.2 高精度 sinking PTAT 电流生成器(Fig. 5-12)

无镜像管信号路径设计:

  • Q1 和 Q2 的发射极通过 A1 环路保持等电压
  • Q1/Q2 基极电压差 =
  • PTAT 电流流过 R2,被 M1/M2 等分为两路 ,直接送入 ΣΔ 调制器
  • 信号路径中无电流镜 → 消除对应的失配误差

基极电流补偿:

  • Q2 的基极电流也流过 R2 → 引入误差
  • 在 Q1 基极添加 R1(比 R2 小 n 倍),R1 上的压降恰好补偿此误差

主要不准确度来源:

  • A1 运放失调
  • M1/M2 失配
  • 偏置电流 I1/I2 失配

嵌套斩波方案(Fig. 5-13):

  • A1 在时钟频率斩波()
  • A1+A2 在采样频率斩波()
  • A3 无放大,仅用于单端输出
  • M1/M2 由 CH6 斩波
  • Q1/Q2 由 S2/S3 斩波

斩波频率与残余误差分析:

  • 最低斩波频率 = 采样频率 → 误差大致平方化(Eq. 5-7)
    • 1% 误差 0.0075% → 0.015°C
    • 10% 误差 0.75% → 1.5°C
    • 可接受 0.1°C → 需要 误差 < 2.5%
  • 提高斩波频率到时钟频率 → 误差完全消除(斩波发生在比较器决策时刻之间,ΣΔ 调制器”看不见”)
  • 高斩波频率的代价:残余失调可达数百 μV(100μV → 1–2°C 温度误差)
  • 嵌套斩波(Fig. 5-13)解决此矛盾:低频 消除残余失调 + 高频 消除 1/f 噪声

动态元件匹配(DEM):

  • 偏置电流比选择 (方便四相 DEM,仅需两个控制信号: 和 )
  • 若 需要 8 相 DEM 和三个控制信号

3.4.3 高精度 Ibe 生成器(Fig. 5-14)

  • Ibe 发生器误差均 <1%
  • 所有失配可通过采样频率斩波消除(无需嵌套斩波)
  • 由偏置电流 和衬底 pnp 管产生
  • M31/M32 电流镜由 CH3 斩波
  • M21/M22 电流分裂器由 CH4 斩波
  • 所有斩波控制由低频采样信号 提供

3.4.4 I²C 总线接口与控制

  • 完全兼容行业标准 LM75 的 I²C 接口(由 Philips 设计)
  • 新增超温/欠温看门狗(over-temperature / under-temperature watchdog)

3.5 版图(Fig. 5-15)

  • 0.7μm 标准 CMOS 工艺
  • 总芯片尺寸 4.5mm²(~50% 数字电路)
  • 高精度温度传感器模拟部分:约 0.7mm²
  • 独立版本(仅 LM75 功能)预计芯片尺寸 2mm²

3.6 实测结果(§5.2.4, Fig. 5-16, Table 5-6)

测试条件:

  • 标准塑料 IC 封装
  • -60°C 到 +130°C 全功能
  • 电源范围 2.9V–5.5V

关键精度数据(24 个样本,同一批次,无校准):

  • -40°C 到 +80°C:±1°C(Fig. 5-16)
  • 室温典型散布:±0.4°C
  • 多个批次测试:室温误差全部在 ±1°C 以内

与 LM75 指标对比:

  • 本批次 24 个样本在 -25°C 到 +100°C 范围内满足 ±2°C(LM75 限温范围规格)
  • 3-σ 全生产带宽下并非完全保证 → 通过后续版本的曲率校正(降低高温端约 1°C)完全解决

实测规格(Table 5-6):

参数最小值典型值最大值单位
电源电压2.93.35.5V
电源电流(I²C 不活跃)50μA
电源电流(I²C 活跃)500μA
关断模式1μA
温度范围-55125°C
不准确度(-25°C 到 +100°C)±2.0°C
不准确度(-55°C 到 +125°C)±3.0°C
转换时间100ms
分辨率10bits(0.25°C)
电源调节抑制0.2°C/V
噪声0.05°C

历史意义:首款满足标准精度规格而无需任何校准的 CMOS 智能温度传感器。成果发表于 ESSCIRC’99 [5.7]。


4. 原型 3:远程微处理器温度传感器(§5.3)

4.1 应用背景(Fig. 5-17)

笔记本电脑热管理的核心需求:

  • 小型化 → 散热器质量最小化
  • 可变 CPU 时钟频率 → 温度过高时自动降频
  • 需要监控 CPU 结温(非仅环境温度)

系统架构(Fig. 5-17):

  • 温度测量芯片通过 SM-bus/I²C(基于 I²C [5.8])与系统管理通信
  • 持续测量 CPU 结温 + 环境温度
  • 温度过高 → 系统管理决策:增加风扇转速或降低 CPU 频率
  • 环境温度测量继承原型 2 的高精度温度传感器设计

4.2 高频干扰问题(Fig. 5-18)

核心挑战:CPU 高速时钟(高达 450MHz)产生强干扰

  • 干扰通过衬底耦合到双极晶体管
  • 实测基极-发射极电压上的尖峰超过 300mV
  • 传感器信号仅约 V/°C

高频干扰对 DC 特性的影响(Eq. 5-8~5-10): 假设干扰源为三角波信号,通过寄生电容 耦合到发射极:

干扰电流 为方波,平均 为:

化简得:

高频干扰改变了双极晶体管的 DC 特性,即使理想积分也不能完全消除误差。

缓解措施:

  • 偏置电流限制在 100μA(与 CPU 供应商协商确定)
  • 外接基极-发射极电容(最大 2.2nF)
  • 最终规格:±2°C(70°C–100°C),±3°C(-20°C–125°C),8 位分辨率(1°C)

4.3 单晶体管温度传感器接口设计(§5.3.3, Fig. 5-19)

方案对比:

方案原理所需动态范围优缺点
模拟 S&H电容存储第一个 ,与第二个做差N/A漏电流大(高温时严重),需大电容
全数字法 1两次独立 ADC → 数字相减77dB(13 bits)ADC 要求极高
全数字法 213-bit ADC+数字寄存器+13-bit DAC 反馈环路精度不重要大量芯片面积
本文方法6-bit 粗采样 + 两步细量化58dB(10 bits)面积高效,无泄漏问题

本文提出的方法(Fig. 5-19):

  1. 相位 1(粗采样):6 位精度(~10mV)采样高偏置电流(100μA)下的
  2. 相位 2:从 中减去 20mV 偏移 得到 (确保 介于 和 之间)
  3. 相位 3:量化 (正数)
  4. 相位 4:量化 (正数)
  5. 数字相加:

优势:

  • ADC 输入信号最大仅 80mV(而非 700mV 全范围 )
  • 所需精度 100μV → 动态范围 58dB(10 位),而非 77dB(13 位)
  • 数字 S&H 仅需 6 位分辨率 → 面积极小

4.4 详细设计(§5.3.4)

  • ΣΔ 调制器:与原型 2 高精度传感器共享
  • 环境温度和 CPU 温度分时转换
  • 转换 CPU 温度时,环境温度的 和 信号被添加为参考信号

单晶体管温度传感器接口实现:

  • 电流模式仪表放大器替代电压模式(Fig. 5-19 中的 instrumentation amplifier)
  • 偏置电流 I1/I2 动态匹配
  • 数字 S&H:比较器 + 计数器 + 电阻串型 6 位 DAC
  • 计数器额外 8 位用于数字滤波
  • 20mV 偏移在 DAC 中实现,可通过控制线开关

4.5 版图

  • 与原型 2 高精度传感器共享芯片(Fig. 5-15)
  • 单晶体管温度传感器接口面积:0.3mm²
  • ΣΔ 调制器共享(无需额外面积)
  • 控制逻辑略有扩展

4.6 实测结果(§5.3.5, Fig. 5-20, Table 5-7)

精度数据(30 个样本,同一批次,无校准,Fig. 5-20):

  • 0°C 到 +80°C:±2°C
  • 室温典型散布:±1°C
  • 多个样本误差重合(因分辨率 1°C 限制)

实测规格(Table 5-7):

参数最小值典型值最大值单位
电源电压2.93.35.5V
电源电流(I²C 不活跃)100μA
电源电流(I²C 活跃)500μA
关断模式1μA
温度范围-20125°C
不准确度(+70°C 到 +100°C)±3.0°C
不准确度(-20°C 到 +125°C)±5.0°C
转换时间100ms
分辨率8bits(1°C)
电源调节抑制0.2°C/V
噪声0.1°C

改进方向:

  • 全范围硬连线偏移 -1°C + 曲率校正 → 可达到 ±2°C(70°C–100°C)和 ±3°C(-20°C–125°C)的规格

5. 结论与本书核心贡献(§5.4)

Bakker & Huijsing (2000) 的三款原型芯片,共同验证了 CMOS 智能温度传感器的商业可行性:

  1. 轮胎监测传感器(§5.1):证明了 CMOS 工艺下实现 μW 级功耗 温度传感器的可行性(3μA @ 2sps)
  2. 高精度免校准传感器(§5.2):首次实现 ±1°C 免校准精度,标志着 CMOS 智能温度传感器可替代校准型器件,实现 25% 成本降低
  3. 远程微处理器传感器(§5.3):首次在强干扰环境中实现 远程单晶体管温度测量,为 CPU 热管理提供了完整方案

作者本人认为最核心的成果是第二项——首款免校准即满足标准精度规格的 CMOS 智能温度传感器,是 CMOS 温度传感器大规模普及的成本突破点。

三款原型设计技术对比

技术原型 1(轮胎)原型 2(高精度)原型 3(远程)
PTAT 电流源两级斩波运放嵌套斩波+无镜像信号路径嵌套斩波
生成标准运放低频斩波同原型 2
ΣΔ 调制器一阶 CT(1.5:1 权重)一阶 CT(2:1 权重)与原型 2 共享
DEM无电流源 4 相 DEM动态匹配 I1/I2
斩波策略单层斩波嵌套斩波()嵌套斩波
校准两点温度校准免校准免校准(远程)
关键创新超低功耗电流镜消除 + 嵌套斩波6-bit 数字 S&H 接口

参考文献

  1. A. Bakker, J. H. Huijsing, High-Accuracy CMOS Smart Temperature Sensors, Kluwer Academic Publishers, 2000, Ch. 5.
  2. A. Bakker and J.H. Huijsing, “Micropower CMOS Temperature Sensor with Digital Output,” IEEE Journal of Solid-State Circuits, vol.31, pp. 933-937, July 1996.
  3. A. Bakker and J.H. Huijsing, “A Low-Cost, High-Accuracy CMOS Smart Temperature Sensor,” Proc. ESSCIRC’99, Duisburg, Germany, pp. 302-305, September 1999.
  4. National Semiconductor, “LM75 - Digital Temperature Sensor and Thermal WATCHDOG with Two-Wire Interface,” 1999.
  5. Philips Semiconductors, “The I2C-bus and how to use it (including specifications),” 1995.
  6. Smart Battery System-Implementers Forum, “Smart Battery System Specification,” rev.1.1, December 11, 1998.
  7. B. de Geeter, O. Nys and J.-P. Bardyn, “A Wide Temperature Range Micropower Sensor Interface Circuit,” Proc. ESSCIRC’96, Neuchatel, Switzerland, pp. 136-139, September 1996.

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