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ESD器件Snapback机制与失效判据
ESD器件Snapback机制与失效判据 📚 Semenov 补充:本页基于 Semenov 等《ESD Protection Device and Circuit Design for Advanced CMOS Technologies》Ch.3,系统介绍 ESD 保护器件的 snapback 物理机制、栅/衬底触发技术、闩锁与 burn-in 效应、以及三种 ESD 失效判据(It2 电流判据、Ioff 漏电判据、Tfail 温度判据)。 前后关系 前置知识: ESD基础概念与设计原则 — ESD 物理本质 ESD先进CMOS技术挑战 — 工艺缩放的 ESD 挑战 pn结电流电压...