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半导体传感器概述
半导体传感器概述 Sze Ch.14 系统阐述了半导体传感器物理：从热传感器（§14.2）、机械传感器（§14.3）、磁传感器（§14.4）到化学传感器（§14.5）。传感器将物理/化学量转换为电信号，是 MEMS 和物联网的核心器件。本文基于 Sze Ch.14 全章提炼。 前后关系 前置知识： 半导体载流子输运现象 — 迁移率、霍尔效应、压阻效应 半导体载流子浓度与费米能级 — 载流子浓度温度依赖 pn结电流电压特性与击穿 — p-n 结温度特性 MIS电容器与MOS结构 — MOS 结构（ISFET 基础） 本书内部链条： 传感器是半导体器件物理的延伸应用，与 Part I–IV 的器件...